中国石化新获得发明专利授权：“多参量气体传感微芯片及其制备方法、气体传感器”

专利摘要：本发明涉及气体传感器技术领域，公开了一种多参量气体传感微芯片及其制备方法。所述微芯片包括微加热结构和传感结构，所述微加热结构包括硅基衬底以及设置于硅基衬底上的加热层，所述加热层分为多个不同温度的加热区；所述传感结构包括多个测量电极以及涂覆于所述测量电极的气体敏感膜，多个所述测量电极分别设置于对应的加热区，多个所述测量电极涂覆的气体敏感膜的材料不相同。本发明通过微加热结构的多个加热区为多种气体敏感膜提供对应的加热温度，实现多参量(不同传感材料、不同温度)的气体检测功能，即在单个微芯片上结合多种传感材料在不同温度下进行检测，实现复杂气氛检测功能，缩小体积，降低功耗，提高集成度。

今年以来中国石化新获得专利授权7388个，较去年同期增加了471.83%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了59.92亿元，同比减5.04%。

数据来源：企查查

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