中国石化新获得发明专利授权:“多参量气体传感微芯片及其制备方法、气体传感器”

中国石化新获得发明专利授权:“多参量气体传感微芯片及其制备方法、气体传感器”

专利摘要:本发明涉及气体传感器技术领域,公开了一种多参量气体传感微芯片及其制备方法。所述微芯片包括微加热结构和传感结构,...

2023-11-27 标签:投资证券芯片传感器技术
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